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TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB，是專為掃描電子顯微鏡所設計的。掃描電子顯微鏡是振動敏感的儀器，而且這些精密儀器都有內置的隔振系統(tǒng)，SEM-Base可以兼容SEM內部預裝的振動隔離系統(tǒng)。

TMC Stage-Base混合壓電電機主動隔振系統(tǒng) TMC繼續(xù)在*技術的基礎上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主要消振系統(tǒng)。

TMC LaserTable-Base混合壓電主動隔振系統(tǒng) TMC的STACIS通過結合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術克服了這些限制，可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術（空氣和STACIS）整合到一個集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應，這實現(xiàn)了低頻率消振和qian所wei有的高頻隔振水平。

TMC TOOL-Base主動壓電地面減振平臺 TOOL-Base是一種*的主動壓電地面減振平臺，用于超精密儀器和機械設備。 它適用于比典型的商業(yè)掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設備有高度限制。 TOOL-Base不局限于單一的配置，而是可以被設計成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質量相匹配。

TMC SEM-Base VI 主動壓電隔振 硬安裝技術 - SEM-Base VI與所有內部SEM振動控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。 主動慣性振動消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)高水平的振動衰減。 采用壓電技術的串行設計

TMC STACIS地面平臺 主動壓電隔振器 對于傳統(tǒng)的實驗室地面，隔離高大工具的建筑地面振動是一個人體工程學領域的挑戰(zhàn)。將隔振器直接放置在工具下方可能會將工具抬高到一個不切實際的高度。此外，傳統(tǒng)空氣隔振器放置在一個較高、上重下輕的有效載荷之下時不穩(wěn)定。